Controlador de vacuo
Controlador de vacuo atua com ate tres medidores. Flexivel e proprio para controle de processo e de vacuo de 1.500 a 10E-11 mbar, o MVC-3 multicanal permite o acoplamento de um a tres medidores. Apresenta ate seis pontos de comutacao a rele (dois por canal) e comunicacao de dados digitais e analogicos para integracao com sistemas de controle da instalacao. Tem aplicacao na area de medicao de vacuo e controle de processo, no campo da tecnologia do vacuo para a producao e pesquisa, por exemplo nas tecnicas das camadas finas (semicondutores e naosemicondutores), instrumentacao analitica e em simuladores e aceleradores. Esta disponivel com sensores UHV passivos (10E-2 a 10E-11) mbar) e sensores ativos (1.500 a 10E-10 mbar).
