Sensor metrologico
Sensor metrologico usa-se ainda para posicionamento estatico. Indicada para metrologia superficial e posicionamento estatico, a serie PIHera consiste de estagios nanossensiveis guiados atraves de flexao, que, alem das alternativas dimensionais (50 a 1.800 µm), permite escolher entre versoes orientadas axialmente (X ou Z), superficialmente (XY) ou espacialmente (XYZ). Cada unidade constitui-se de sensores capacitivos de precisao, que garantem resolucao desde 3 nm. As aceleracoes sao propiciadas por atuadores lineares piezeletricos multicamada, que podem ser igualmente oferecidos em versoes compativeis com vacuo.