Sistema de medicao optica

Sistema de medicao optica possui algoritmo de analise da imagem. Baseado nos principios de metrologia do som, o Innova fornece medicoes sem contato ponto a ponto e por campo de visualizacao de dispositivos MEMS, optoeletronicos ou de semicondutor. Faz medicoes FOV da ordem de 0,5 µm com exatidao de 0,010 µm. A placa tem um deslocamento em XY de 200 x 200 mm. Possui componentes estruturais de granito e suporte isolador de vibracoes, para maior estabilidade. Entre as caracteristicas adicionais, inclui autofoco, auto-iluminacao e manipulador automatico de wafer.