Sensor de ionizacao
Sensor de ionizacao sinaliza necessidade de manutencao. Desenvolvido para industrias de fabricacao de semicondutores e de processamento de wafers, apresenta alarmes com limites ajustaveis pelo usuario, que sinalizam a necessidade de manutencao preventiva em sistemas de ionizacao. O modelo 5200-SR, calibrado de acordo com a norma SEMI E78, opera em circuito fechado com ionizadores AeroBar e com o software integrado IonMonitor<font face=symbol>O</font>, que minimizam a atracao de particulas e eliminam a eletricidade estatica durante o manuseio de wafers.
