Microscopio acustico apresenta repetitividade de 0,5 µm. Dotado de transdutor ultra-sonico de 5 a 400 MHz acionado por motor linear com repetitividade de 0,5 µm nos eixos X, Y e Z, inspeciona wafers de 300 mm ou duas bandejas padronizadas JEDEC em area de medicao >304,8 x 304,8 mm. O modelo Gen5<font face=symbol>O</font> C-SAM® pode ser equipado com os modulos VRM de coleta de dados acusticos e armazenamento de amostras virtuais, Profile Imaging para analises transversais nao destrutivas, e Frequency Domain Imaging (FDI<font face=symbol>O</font>) para a transformacao de imagens acusticas em imagens multiplas de freqüencia unica. De alta resolucao e velocidade, apresenta torre de escaneamento com sistema otimizado de iluminacao e ampla abertura para o manuseio de amostras de variados tamanhos.
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