Estacao de trabalho a Laser possui 12 eixos de movimento. O sistema de microusinagem a Laser universal classe I, industrial, IX-250, possui 12 eixos de movimento e cursos de 250 x 200 mm, para o processamento de wafers maiores do que 15 cm. Abrange, em sua faixa de operacao, comprimentos de onda de UV de vacuo de 157 a 193 nm, sendo utilizado em aplicacoes de tecnologia emergente. Emprega sistema flexivel de fornecimento de feixe (BDS) montado em base de granito para garantir a repetitividade do processo, bem como sistema optico de grande abertura, acomodando varios modulos de delineamento do feixe.
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